半导体薄膜沉积废气处理

常见的半导体薄膜沉积废气处理技术有多种。例如，物理吸附法，利用特定的吸附材料，如活性炭等，对废气中的有害物质进行吸附。这种方法操作简单，成本相对较低，但吸附饱和后需要及时更换吸附材料，否则可能会造成二次污染。

还有化学洗涤法，通过将废气与特定的化学试剂接触，使有害物质发生化学反应，转化为无害或易于处理的物质。不过，化学试剂的选择和处理后的废液处理也是需要重点关注的问题。

此外，燃烧法也是一种方式，将废气中的可燃成分进行燃烧分解。但要确保燃烧过程的高效性和安全性，避免产生新的污染物。

在实际的废气处理中，往往需要综合运用多种技术，以达到最佳的处理效果。比如先通过预处理去除大颗粒物质和部分易处理的成分，再结合吸附、化学洗涤等深度处理手段，确保废气达标排放。